OMRON 웨이퍼 캐리어 착석 센서 EE-SPY801/802가치를 추구 하는 기업 주식회사 한전사

  • EE-SPY80

    웨이퍼 커리어의 착좌 검지
    • 가이드와 병용하여 착좌 위치를 설정
    • 웨이퍼 캐리어와의 접촉면은 내약품성이 뛰어난 불소 수지를 사용
    • 독자적인 광학계로 대부분의 웨이퍼 캐리어에서 안정적으로 검지
    • 외란광에 강한 변조광 방식
    • 코드는 클린 코드(탤크 가루 없음)를 사용