• 다양한 FPD 유리 기판의 표면을 고저일도로 계측하여 품질과 수율 향상에 공헌 • 이동/분해 가능. 이동 계측시 패턴의 영향이 적음 • 노즐의 목표 지점과 계측포인트를 일치시켜 계측