액면 레벨 화이버
• 내약품, 내유성이 뛰어난 태프론(PFA)을 채용
• 웨이퍼 세정조의 유산등 고온액체의 검출에도 대응할 수 있음(-40~+200도)
• 순수한 물에서 0.5mm의 높은 반복정도를 실현
• 액체흘림 방지 기구를 채용
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